关键词：氮化硅陶瓷；超高压纳米均质机；浆料分散；功率半导体；散热基板

氮化硅（Si₃N₄）陶瓷是目前综合性能至优的结构功能一体化热管理材料，兼具高导热、超高抗弯强度、高韧性、低热膨胀、耐高温、抗热震等多重优势，适配新能源汽车主驱IGBT、光伏逆变器、航空航天高温器件等高要求工况散热场景，是高品质功率半导体封装的核心基板材料。器件长期处于高温、高压、冷热交替冲击的严苛工况，普通陶瓷基板易出现开裂、热衰、变形等问题，而氮化硅陶瓷凭借优异的力学与热学性能，成为高可靠功率器件封装的核心基材。

图1 SiC 功率器件层叠散热结构示意图

氮化硅陶瓷的性能核心取决于浆料分散质量与烧结晶型转化效果，但氮化硅粉体硬度高、表面性质特殊，配成浆料后极易形成不可逆的高强度硬团聚，传统研磨设备的机械撞击力无法破碎团聚内核，残留的大颗粒团聚体最终会在陶瓷基板内部形成气孔、裂纹等致命缺陷。此外，氮化硅烧结需要搭配稀土、铝镁系复合烧结助剂，助剂配比精细、添加量极低，传统工艺难以实现均匀分散，会直接影响α-Si₃N₄向高导热、高韧性β相柱状晶的转化，导致基板强度不足、导热性能波动大。同时，传统球磨、砂磨工艺处理高硬度氮化硅浆料时，设备磨损严重，易引入杂质，制备的浆料批次差异大、稳定性差，沉降分层明显，破坏陶瓷高温稳定性与力学性能，且工艺重复性差，量产良率难以把控，严重制约高品质氮化硅陶瓷的规模化量产。  

TRILOS超高压纳米均质机可针对性解决氮化硅浆料制备难题，设备可实现4000bar超高压稳定运行，3000bar区间可长期连续量产作业，搭载超高耐磨人造金刚石分散腔，可耐受高硬度氮化硅材料的长期冲刷，无磨损、无杂质析出。超高压产生的强流体作用力，可精准破碎氮化硅的化学键硬团聚，消除浆料中粗大颗粒，实现浆料纳米级均匀分散。

TRILOS 超高压纳米均质机的工作原理

该设备基于超高压流体力学效应设计，物料在精准可控高压驱动下高速通过微结构均质腔，瞬时承受高强度剪切、湍流空化、颗粒对撞三重物理作用，可破除颗粒软硬团聚、细化颗粒尺寸，实现固液两相均匀分散。设备压力调控精度高、运行稳定性优异，不堵不漏，适配低粘度氮化硅陶瓷浆料处理，可实现实验室工艺参数到规模化生产的线性放大，满足产业化生产需求。

图2 均质机原理图

图3 TRILOS超高压纳米均质机

应用案例

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