3D光学干涉轮廓仪技术详解：从原理到应用

    一、技术原理

    3D光学干涉轮廓仪主要基于白光干涉原理进行工作。其光源发出的光经过扩束准直后，通过分光棱镜分成两束。一束光经被测表面反射，另一束光经参考镜反射。两束反射光最终汇聚并发生干涉，形成干涉条纹。这些干涉条纹通过显微镜转化为信号，再由专业软件进行处理，以获取样品表面的三维形貌。

    二、技术特点

    高精度：利用白光干涉技术，3D光学干涉轮廓仪可实现纳米级甚至亚纳米级的测量精度。

    非接触式：通过光学原理进行测量，无需与被测物体直接接触，避免了机械磨损和样品损伤。

    快速便捷：优化聚焦和算法使得测量速度极快，能够快速构建3D图形表面。

    三、应用领域

    3D光学干涉轮廓仪广泛应用于多个领域：

    材料科学：用于纳米材料、半导体等材料的表面形貌和粗糙度测量。

    航空航天：对航空器、卫星等高精度零部件的表面质量进行检测。

    精密制造业：测量各类精密仪器、设备及工具表面的形貌，确保产品质量。

    生物医学：对生物组织、细胞等表面形貌进行非破坏性测量，为生物学研究提供支持。

    总之，3D光学干涉轮廓仪以其高精度、非接触式、快速便捷的特点，在多个领域展现出广泛的应用前景。