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3D光学干涉轮廓仪技术详解:从原理到应用

更新时间:2024-05-30      点击次数:540
    一、技术原理
    3D光学干涉轮廓仪主要基于白光干涉原理进行工作。其光源发出的光经过扩束准直后,通过分光棱镜分成两束。一束光经被测表面反射,另一束光经参考镜反射。两束反射光最终汇聚并发生干涉,形成干涉条纹。这些干涉条纹通过显微镜转化为信号,再由专业软件进行处理,以获取样品表面的三维形貌。
    二、技术特点
    高精度:利用白光干涉技术,3D光学干涉轮廓仪可实现纳米级甚至亚纳米级的测量精度。
    非接触式:通过光学原理进行测量,无需与被测物体直接接触,避免了机械磨损和样品损伤。
    快速便捷:优化聚焦和算法使得测量速度极快,能够快速构建3D图形表面。
    三、应用领域
    3D光学干涉轮廓仪广泛应用于多个领域:
    材料科学:用于纳米材料、半导体等材料的表面形貌和粗糙度测量。
    航空航天:对航空器、卫星等高精度零部件的表面质量进行检测。
    精密制造业:测量各类精密仪器、设备及工具表面的形貌,确保产品质量。
    生物医学:对生物组织、细胞等表面形貌进行非破坏性测量,为生物学研究提供支持。
    总之,3D光学干涉轮廓仪以其高精度、非接触式、快速便捷的特点,在多个领域展现出广泛的应用前景。
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